~超精密Micor系列显微线扫相机 产品尺寸:199.1H * 135D * 205Wmm 有效宽度:6,14,28mm 清 晰 度:9600/19200/38400dpi 像素大小:0.66um/1.32um/2.65um 线扫速率:3.57kHz 焦距范围:±0.1mm 工作距离:52.4/70.2mm 数据接口:USB3.0 主要应用:晶圆表面, 太阳能电池板,硅晶片等